Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов
Зебрев Г.И.
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Yıl:
2020
Baskı:
4
Yayımcı:
Лаборатория знаний
Dil:
russian
Sayfalar:
243
ISBN 10:
5996301814
ISBN 13:
9785996301812
Seriler:
Нанотехнология
Dosya:
PDF, 4.56 MB
IPFS:
,
russian, 2020